Entwicklung intrumenteller Methoden zum Echtzeitmonitoring von Airborne Molecular Contamination (AMC) bei der Herstellung und Strukturierung von Wafern auf der Grundlage der Ionenmobilitätsspektrometrie und GC-Photoionisation
Drittmittelprojekt (ZAFT-Projekt) mit Industriebeteiligung

Prof. Dr.-Ing. habil. Günter Rösel

M. Sc. Torsten Wichert
Dipl.-Ing (FH) Ronny König

Airborne Molecular Contamination (AMC) beschreibt alle Arten von gasförmigen Bestandteilen in der Luft von Reinräumen und/oder Prozessabteilungen der Halbleiterindustrie, die eine Verschmutzung der Oberfläche oder des Produkts in Kontakt mit Luft verursachen können. Der Nachweis, die Minimierung und der weitgehende Ausschluss von AMC ist ein Schlüsselproblem für die Verbesserung der Qualität von Wafern, Halbleiterbauelementen etc., die Minimierung der Kosten und somit ein wesentlicher Wettbewerbsvorteil.
Zielstellung des Vorhabens ist die Entwicklung eines neuartigen, stationär und transportabel einsetzbaren, online messenden AMC-Monitors basierend auf den drei unterschiedlichen Messverfahren IMS, GC-IMS und GC-PID, der sowohl für die Raumüberwachung in Reinräumen als auch zur Überwachung der Sauberkeit in FOUP-Reinigungsanlagen  geeignet ist und die Messung einer Vielzahl AMC – typischer Substanzen ermöglicht.
Neben der Entwicklung und Umsetzung der erforderlichen Hardwarekomponenten ist die Erarbeitung der entsprechenden Steuer- und Auswertesoftware, insbesondere innovativer Signalverarbeitungsstrategien essentieller Bestandteil des Projektes.


BMWi

STEP Sensortechnik und Elektronik Pockau GmbH

01.07.2015 bis 31.01.2017