M938 – Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse

Modul
Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse
Microscopy / Microanalysis
Modulnummer
M938 [MC-MA8]
Version: 1
Fakultät
Maschinenbau
Niveau
Master
Dauer
1 Semester
Turnus
Wintersemester
Modulverantwortliche/-r

Dr. rer. nat. Robert Klemm
robert.klemm(at)htw-dresden.de
Dozent/-in(nen)

Prof. Dr. Ellen Hieckmann
ellen.hieckmann(at)htw-dresden.de
Lehrsprache(n)

Deutsch
in "Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)"
ECTS-Credits

5.00 Credits

Workload

150 Stunden

Lehrveranstaltungen

4.00 SWS (2.00 SWS Vorlesung | 2.00 SWS Praktikum)
Selbststudienzeit

90.00 Stunden
105.00 Stunden Selbststudium - Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)
Prüfungsvorleistung(en)

Praktikum
in "Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)"
Prüfungsleistung(en)

Mündliche Prüfungsleistung
Prüfungsdauer: 20 min | Wichtung: 100%
in "Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)"
Lehrform

Vorlseung
Praktikum
Medienform

Tafel,
Power Point Präsentation
Skript
Lehrinhalte/Gliederung

Vorlesung

  • Lichtmikroskopie
  • Lithographie und Grundlagen der Halbleiterfertigung
  • Einführung in die Elektronenmikroskopie
  • Aufbau eines Rasterelektronenmikroskops
  • Aufbau eines Transmissionselektronenmikroskops
  • Probenpräparation
  • Signalerzeugung und Verarbeitung im Elektronenmikroskop
  • Wechselwirkungsprozesse der Primärelektronen mit dem Objekt
  • Röntgenmikroanalyse im Elektronenmikroskop
  • Elektronenenergieverlustspektroskopie
  • Übersicht über weitere mikroskopische Verfahren
  • Bildverarbeitung

Praktikum

  • ausgewählte Versuche aus dem Bereich der Physik und Festkörperphysik.

Das Praktikum soll aufbauend auf dem Grundpraktikum in Physik Versuche mit einem höheren experimentellen Aufwand und anspruchvollerer Auswertung ermöglichen.
Qualifikationsziele

Die Studierenden sollen einen Überblick über die modernen Verfahren der Mikroskopie bekommen. Sie sollen die physikalischen Grundlagen der Instrumente verstehen und in der Lage sein, problemorientiert geeignete Verfahren zu wählen. Die vermittelten Kenntnisse sollen sie in die Lage versetzen, sich im Beruf schnell in die Bedienung moderner mikroskopischer Instrumente einarbeiten zu können, als auch auf mikroskopischen Untersuchungen beruhende Ergebnisse richtig zu interpretieren zu können. Die Möglichkeit der Kombination von Abbildung und Mikrobereichsanalyse soll vermittelt werden.
Sozial- und Selbstkompetenzen
  • Durch die Arbeit in kleinen Gruppen im Praktikum soll die Teamfähigkeit trainiert werden.
  • Versuche sollen auch eigenständig geplant werden.
  • Im Gegensatz zum Grundpraktikum soll die Kommunikationsfähigkeit und die soziale Kompetenz durch eigene Aufgabenverteilung innerhalb der Gruppe geübt werden.
Besondere Zulassungsvoraussetzung
Keine Angabe
Empfohlene Voraussetzungen

Vektorrechnung, Differential- und Integralrechnung

Grundllgenvorlesung Physik,
Physikalisches Grundlagenpraktikum
Fortsetzungsmöglichkeiten
Keine Angabe
Literatur

Optik, E. Hecht, Oldenbourg Verlag München Wien

Praxis der Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse, Peter Schmidt, expert Verlag

Das Neue Physikalische Grundpraktikum, Eichler, Kronfeld, Sahm, Springer Verlag
Aktuelle Lehrressourcen

Lehrmaterial und Einschreiblisten sind über die Lehr- und Lernplattform OPAL verfügbar

⇒ Link zum OPAL-Katalog der Fakultät Maschinenbau
Hinweise
Keine Angabe
Link zu Kurs/Lernressourcen im OPAL
https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/31644090374
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