M938 – Microscopy / Microanalysis

Module
Microscopy / Microanalysis
Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse
Module number
M938 [MC-MA8]
Version: 1
Faculty
Mechanical Engineering
Level
Master
Duration
1 Semester
Semester
Winter semester
Module supervisor

Dr. rer. nat. Robert Klemm
robert.klemm(at)htw-dresden.de

Lecturer(s)

Prof. Dr. Ellen Hieckmann
ellen.hieckmann(at)htw-dresden.de

Course language(s)

German
in "Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)"

ECTS credits

5.00 credits

Workload

150 hours

Courses

4.00 SCH (2.00 SCH Lecture | 2.00 SCH Internship)

Self-study time

90.00 hours
105.00 hours Self-study - Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)

Pre-examination(s)

Internship
in "Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)"

Examination(s)

Oral examination
Examination time: 20 min | Weighting: 100%
in "Mikroskopie und Mikrobereichsanalyse (MC-MA8)"

Form of teaching

Vorlseung
Praktikum

Media type

Tafel,
Power Point Präsentation
Skript

Instruction content/structure

Vorlesung

  • Lichtmikroskopie
  • Lithographie und Grundlagen der Halbleiterfertigung
  • Einführung in die Elektronenmikroskopie
  • Aufbau eines Rasterelektronenmikroskops
  • Aufbau eines Transmissionselektronenmikroskops
  • Probenpräparation
  • Signalerzeugung und Verarbeitung im Elektronenmikroskop
  • Wechselwirkungsprozesse der Primärelektronen mit dem Objekt
  • Röntgenmikroanalyse im Elektronenmikroskop
  • Elektronenenergieverlustspektroskopie
  • Übersicht über weitere mikroskopische Verfahren
  • Bildverarbeitung

Praktikum

  • ausgewählte Versuche aus dem Bereich der Physik und Festkörperphysik.

Das Praktikum soll aufbauend auf dem Grundpraktikum in Physik Versuche mit einem höheren experimentellen Aufwand und anspruchvollerer Auswertung ermöglichen.

Qualification objectives

Die Studierenden sollen einen Überblick über die modernen Verfahren der Mikroskopie bekommen. Sie sollen die physikalischen Grundlagen der Instrumente verstehen und in der Lage sein, problemorientiert geeignete Verfahren zu wählen. Die vermittelten Kenntnisse sollen sie in die Lage versetzen, sich im Beruf schnell in die Bedienung moderner mikroskopischer Instrumente einarbeiten zu können, als auch auf mikroskopischen Untersuchungen beruhende Ergebnisse richtig zu interpretieren zu können. Die Möglichkeit der Kombination von Abbildung und Mikrobereichsanalyse soll vermittelt werden.

Social and personal skills
  • Durch die Arbeit in kleinen Gruppen im Praktikum soll die Teamfähigkeit trainiert werden.
  • Versuche sollen auch eigenständig geplant werden.
  • Im Gegensatz zum Grundpraktikum soll die Kommunikationsfähigkeit und die soziale Kompetenz durch eigene Aufgabenverteilung innerhalb der Gruppe geübt werden.
Special admission requirements
No information
Recommended prerequisites

Vektorrechnung, Differential- und Integralrechnung

Grundllgenvorlesung Physik,
Physikalisches Grundlagenpraktikum

Continuation options
No information
Literature

Optik, E. Hecht, Oldenbourg Verlag München Wien

Praxis der Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse, Peter Schmidt, expert Verlag

Das Neue Physikalische Grundpraktikum, Eichler, Kronfeld, Sahm, Springer Verlag

Current teaching resources

Lehrmaterial und Einschreiblisten sind über die Lehr- und Lernplattform OPAL verfügbar

Link zum OPAL-Katalog der Fakultät Maschinenbau

Notes
No information