E348 – Halbleitertechnik und Mikroelektronik

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Modul
Halbleitertechnik und Mikroelektronik
Semiconductor Technology and Microelectronics
Modulnummer
E348
Version: 2
Fakultät
Elektrotechnik
Niveau
Bachelor/Diplom
Dauer
1 Semester
Turnus
Sommer- und Wintersemester
Modul­verantwortliche/-r

Prof. Dr. rer. nat. Kay-Uwe Giering
kay-uwe.giering(at)htw-dresden.de

Dozierende

Prof. Dr. rer. nat. Kay-Uwe Giering
kay-uwe.giering(at)htw-dresden.de

Lehrsprache(n)

Deutsch

ECTS-Credits

5.00 Credits

Workload

150 Stunden

Lehrveranstaltungen

3.00 SWS (2.00 SWS Vorlesung | 1.00 SWS Praktikum)

Selbststudienzeit

105.00 Stunden

Prüfungs­vorleistung(en)
Keine Angabe
Prüfungsleistung(en)

Alternative Prüfungsleistung - Belegarbeit
Wichtung: 100 %

Lehrform

Vorlesung ergänzt durch Praktika

Medienform
Keine Angabe
Lehrinhalte / Gliederung
  • Halbleiterphysikalische Grundlagen, Drift-Diffusions-Modell
  • Aufbau und Charakteristik von Halbleiterbauelementen (pn-Übergang, MOS-Kondensator, MOS-FET und weitere)
  • Grundlegende Herstellungsprozesse von Halbleitertechnologien (u.a. Halbleitermaterial, Abscheideverfahren, Dotierungsverfahren, Lithographieverfahren, Schichtabtrag)
  • Simulation von Halbleiterbauelementen
Qualifikationsziele
  • Die Studierenden kennen Schritte zum Entwurfsablauf und zur Herstellung integrierter Schaltkreise.
  • Die Studierenden verstehen die Funktionsweisen integrierter Bauelemente (Dioden, Transistoren, Speicherelemente, ...) und können Simulationsmethoden zur Analyse integrierter Schaltkreise / Bauelemente anwenden.
  • Die Studierenden können eigenständig Simulationen erstellen, auswerten und ihre Ergebnisse präsentieren.
  • Die Studierenden können Maßnahmen zur Optimierung von Halbleiterbauelementen ableiten.
Sozial- und Selbstkompetenzen
  • Gruppenarbeit im Praktikum
  • Analytisches und konzeptionelles Denken
  • Präsentationsfertigkeiten
Besondere Zulassungs­voraussetzung(en)
Keine Angabe
Empfohlene Voraussetzungen

Mathematik 1-3, Elektrotechnik 1-3, Elektronik, Angewandte Elektronik

von Vorteil: Theoretische Elektrotechnik

Fortsetzungs­möglichkeiten
Keine Angabe
Literatur
  • A. Klös: Nanoelektronik - Bauelemente der Zukunft. Hanser, 2024. (online verfügbar über HTWD-Bibliothek)
  • C. Hu: Modern Semiconductor Devices for Integrated Circuits. Pearson, 2009. Download at: https://www.chu.berkeley.edu/modern-semiconductor-devices-for-integrated-circuits-chenming-calvin-hu-2010/
  • U. Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie. Springer, 2014.
  • S. M. Sze, Y. Li, K. N. Ng: Physik der Halbleiterbauelemente. Wiley, 2022.

Weiterführend:

  • A. Möschwitzer, K. Lunze: Halbleiterelektronik. Verlag Technik, 1986.
  • N. W. Ashcroft, N. D. Mermin: Solid State Physics. Saunders College Publishing, 1976.
  • H. Ibach, H. Lüth: Festkörperphysik. Springer, 2002.
Aktuelle Lehrressourcen

Vorlesungsmaterial, Templates zur Simulations-Software

Hinweise
Keine Angabe
Link zu Kurs bzw. Lernressourcen im OPAL
https://bildungsportal.sachsen.de/opal/auth/RepositoryEntry/46360002567
Modulux-Link:
https://apps.htw-dresden.de/modulux/modul/5177